3月20日至22日，2024 SEMICON China半導(dǎo)體行業(yè)年度盛會將在上海新國際博覽中心拉開帷幕。以“創(chuàng)‘芯’共贏，智造價值”為主題，自動化技術(shù)和技術(shù)培訓(xùn)領(lǐng)域的全球領(lǐng)先企業(yè)費(fèi)斯托(Festo)將亮相并展示適用于半導(dǎo)體行業(yè)的前沿技術(shù)及創(chuàng)新應(yīng)用，助力半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)備制造打開新思路，創(chuàng)造“芯”價值。

經(jīng)歷了過去一年的短暫低迷，2024年全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)復(fù)蘇，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)整體有望回歸到中高速增長狀態(tài)，優(yōu)勢資源傾斜和政策扶持，既面臨著彎道超車的發(fā)展機(jī)遇，同時也亟需系統(tǒng)地突破上下游設(shè)備制造瓶頸，基于自動化和數(shù)字化技術(shù)不斷解決發(fā)展痛點(diǎn)。

Festo憑借在新能源汽車行業(yè)從電池到整車生產(chǎn)的所有自動化流程、電子和裝配、半導(dǎo)體、太陽能、生物技術(shù)和制藥、化工、水處理、食品和包裝行業(yè)以及快速發(fā)展的醫(yī)療技術(shù)和實(shí)驗(yàn)室自動化等領(lǐng)域積累的豐富經(jīng)驗(yàn)，正通過氣動加電驅(qū)動自動化技術(shù)的組合拳為中國半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)發(fā)展賦能。

為客戶實(shí)現(xiàn)“量身定制”

Festo大中華區(qū)電子及裝配行業(yè)銷售總監(jiān)劉高亮表示， Festo自動化技術(shù)應(yīng)用聚焦在半導(dǎo)體的前道和后道多個工藝段。

其中，在半導(dǎo)體生產(chǎn)前道工藝段，比如在晶圓清洗和打磨等環(huán)節(jié)，F(xiàn)esto根據(jù)客戶的具體需求進(jìn)行“量身定制”，為了滿足客戶對于安全性、晶圓的厚度、高低溫環(huán)境、平穩(wěn)度、光滑度等嚴(yán)格要求，F(xiàn)esto能提供基于氣動或電動控制的整體高效定制化解決方案。

在半導(dǎo)體生產(chǎn)后道，以芯片抓取和移載為例，因?yàn)樾酒旧硎执嗳酰朐诟咚傥灰频那闆r下穩(wěn)定抓取，不僅要應(yīng)對速度問題，還要重點(diǎn)考慮精度問題。Festo面向后道環(huán)節(jié)有許多標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品，包括氣缸、電驅(qū)動閥、高速閥等等，在半導(dǎo)體行業(yè)都有廣泛的應(yīng)用，并且在太陽能、3C領(lǐng)域的產(chǎn)品分揀、上下料、包裝等環(huán)節(jié)都可以復(fù)制推廣。

作為第二大本土市場，F(xiàn)esto始終堅持在中國的深度本地化戰(zhàn)略。在成本方面，F(xiàn)esto應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的解決方案采用緊湊經(jīng)濟(jì)型模塊化設(shè)計，位于濟(jì)南的全球生產(chǎn)中心為成本效益和穩(wěn)定交付保駕護(hù)航。Festo濟(jì)南全球生產(chǎn)中心立足中國面向全球，嚴(yán)格遵循Festo全球質(zhì)量管理體系，是Festo集團(tuán)在全球范圍內(nèi)自動化程度最高、生產(chǎn)規(guī)模最大的工廠。

劉高亮十分看好中國半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，他表示這會是現(xiàn)在以及未來Festo重點(diǎn)關(guān)注或投資最大的一個行業(yè)。展望未來，F(xiàn)esto將持續(xù)發(fā)力半導(dǎo)體前道和后道市場?！氨娝苤袊鴵碛腥澜缱畲蟮陌雽?dǎo)體市場。隨著新能源、AIoT行業(yè)的火熱發(fā)展，中國對于半導(dǎo)體芯片產(chǎn)品的需求日益高漲，再加上外部形勢的影響，半導(dǎo)體本土化優(yōu)勢漸顯，F(xiàn)esto也愿意跟廣大客戶一起為中國半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展做更多貢獻(xiàn)。”

行業(yè)首創(chuàng)壓電技術(shù)大顯身手

半導(dǎo)體行業(yè)技術(shù)迭代非常快，對設(shè)備自動化技術(shù)的需求更是快速更迭、精益求精。為此Festo在中國成立了一個專門的半導(dǎo)體行業(yè)團(tuán)隊，從研發(fā)、生產(chǎn)到銷售，充分保障本地創(chuàng)新能力，快速響應(yīng)中國半導(dǎo)體市場的需求。不斷創(chuàng)新、高效、可靠的自動化解決方案，是Festo立足半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵能力。

本次SEMICON China展會，F(xiàn)esto將展示行業(yè)首創(chuàng)的基于壓電技術(shù)的Controlled Pneumatics受控氣動元件Festo 壓電閥島VTEP的廣泛應(yīng)用。VTEP閥島是受控氣動產(chǎn)品組的重要成員，它基于先進(jìn)的壓電技術(shù)，將比例閥、傳感器和復(fù)雜控制算法集成構(gòu)成一個控制回路，控制精度高、動態(tài)性能好、靜音且節(jié)能，結(jié)構(gòu)緊湊，適用于小流量氣動自動化場景，可精密控制多達(dá)10個通道的氣壓。例如在半導(dǎo)體或光電產(chǎn)業(yè)鍍膜的生產(chǎn)線過渡腔室、移載系統(tǒng)、制程腔體的門閥開關(guān)控制過程，VTEP閥島的應(yīng)用可大幅降低門閥開關(guān)時所產(chǎn)生的沖擊力，在單一元件中實(shí)現(xiàn)對多門閥的控制，借由數(shù)位參數(shù)集達(dá)成高重復(fù)精度，易于追蹤，非常適用于工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)。而在拋光機(jī)上，針對每個拋光腔體可變的接觸壓力，用受控氣動元件可極為精確地控制，確保優(yōu)異地拋光效果，晶圓拋光也不在話下。閥島 VTEP 還可用作過程自動化中的介質(zhì)閥的先導(dǎo)閥。例如在光刻中，必須用抗光層非常精確地密封晶圓，通過回吸功能確保不會有多余的涂料溢出。此外，使用VTEP閥島的正負(fù)壓控制，可以實(shí)現(xiàn)很多應(yīng)用，例如膜片鉗細(xì)胞檢測，根據(jù)不同的應(yīng)用配方對測試和分析需要的顏料、粘合劑或液體進(jìn)行非常精確地分配。

壓電技術(shù)不僅開創(chuàng)了全新的氣動應(yīng)用領(lǐng)域，還可以讓傳統(tǒng)氣動生產(chǎn)變得更為高效，實(shí)現(xiàn)小體積、低能耗、高效率、高精度并快速地達(dá)到設(shè)定值。

開創(chuàng)閥島新紀(jì)元

Festo全新一代氣電融合自動化控制平臺VTUX閥島將在本次SEMICON China展會首次亮相，它標(biāo)志著閥島新紀(jì)元的開端，也代表著閥島未來趨勢。

VTUX閥島采用高性能輕量化材料與創(chuàng)新結(jié)構(gòu)設(shè)計，適應(yīng)各種智能制造場景，例如輕量化布局于門架或機(jī)械臂末端，節(jié)省機(jī)器內(nèi)空間，加快循環(huán)時間提高生產(chǎn)率，適配各種集中式與分散式混合拓?fù)浼軜?gòu)的機(jī)器方案等等?？膳渲肍esto創(chuàng)新AP通信技術(shù)功能，可確保極高的性價比優(yōu)勢，兼具簡單與高度靈活模塊化，極致緊湊與大流量，兼容各種多針或總線通信環(huán)境，各種電氣控制功能(例如遠(yuǎn)程I/O信號、IO-Link主站通訊)與氣動控制功能(例如電磁閥、真空發(fā)生器、比例閥)等等。歡迎親臨展會現(xiàn)場一睹真容。

此外，本次展會Festo還將展示適用于各種晶圓輸送和儲存場合等需要微污染防治的半導(dǎo)體晶片先進(jìn)制程的N2 Purge 氮?dú)獯祾呦到y(tǒng)，晶圓頂針升降控制方案，以及應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓濕式清洗工藝的氣缸同步控制方案等等。

歡迎蒞臨上海新國際博覽中心E7館E7816號展臺現(xiàn)場參觀交流!或掃描文末的二維碼登入Festo在線展廳，身臨其境輕松觀展。

Festo大中華區(qū)總部(上海)

（資料來源：費(fèi)斯托官網(wǎng)）